金相样品的制备要得到好结果，清洁是相当重要的。伴随着磨光和抛光的每一步操作，要相应地进行一次清洁，把磨光和抛光时的磨料颗粒从试样上完全消除，以免污损，影响下一步的制样效果。细磨到粗抛这一步特别关键，需要彻底地清洁。化学抛光或电解抛光之前，试样表面要无油脂。试样表面上的残渣、手印和不易觉察到的膜，能够使试样各部分的浸蚀速度不一样，干扰浸蚀。清洁的方法不少，Z常用的是漂洗。可以直接在流水下冲洗；也可以在盛水容器中漂洗。漂洗时可以用柔软毛刷或棉花球拭擦。

超声波清洗是Z有效和彻底的清洗方法。不仅能够消除表面的污染，而且能够把裂缝、空腔中保留的细粒物清除掉。超声波清洗只需10到30秒。所以超声波清洗是目前很受欢迎的方法。

清洗后试样应当快速干燥。首先在酒精、苯或其他低沸点的液体中漂洗，然后置于热空气吹干机下，使裂缝、孔洞中保留的液体蒸发，表面不留任何残迹。